低温硅液相外延：低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅lpe中，由于新的溶剂(主要是ag，au及其合金)不断发现，---降低了硅lpe的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上，ag在845℃也有11at.%的si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值，而当生长温度低于500℃时，au在硅中的固溶度不到1012cm-3。
与其他外延方法相比；它具有如下的优点：1）生长设备比较简单，；2）有较高的生长速率；3）掺杂剂选择范围广；4）晶体完整性好，外延层位错密度较衬底低；5）晶体纯度高，生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物，操作安全、简便等。lpe的不足在于，当外延层与衬底晶格常数差大于1%时，不能进行---的生长。其次，由于分凝系数的不同，1260液相厂商，除生长很薄的外延层外，池州1260液相，在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者lpe的外延层表面一般不如气相外延好。
安捷伦 1260 infinity 柱温箱
1、温度范围：从低于室温 10℃ 到 80℃
2、温度稳定性：± 0.15℃
3、控温准确度：± 0.8℃，1260液相供应，校准后 ± 0.5℃
4、色谱柱容量：三支 30 cm 的色谱柱
5、加热；冷却到设定温度的时间
从室温到 40℃，需要 5 分种
从 40℃到 20℃需要 10 分钟
6、内部体积：左热交换器 3 μl；右热交换器 6 μl
7、glp：色谱柱识别模块，用于 glp 记录色谱柱类型
性能指标对于室温下（25 ℃）的蒸馏水，温度设定为 40 ℃ ，流速范围从 0.1 到 5.0 ml/min时有效。
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