




lpe的硅外延层,以其---的电学、光学及其生长特性,而在cvd无法胜任的领域应用前景---.目前,取得较为成功的方面有:(1)垂直沟道的场控制器件中的埋栅制造及沟道的外延再填;(2)太阳能电池;(3)超晶格器件;(4)三维集成技术 [1] .场控制器件:cvd在硅器件的埋结制造中,因自掺杂而出现埋层尺寸增加,二手1260液相设备供应,密排栅极叉指制造也受到---影响,而lpe因其可以消除自掺杂,而在这方面得到应用,二手1260液相设备怎么用,尤其对硼扩散的埋栅区域的埋结制造,其优点更为明显 [1] .

相平衡理论相平衡理论认为溶质在流动相和固定相之间达到平衡。分配(吸附)色谱的分离是基于样品组分在固定相和流动相之间反复多次的分配(吸附-脱附)过程,在一定温度和压力下,组分在固定相和流动相之间分配达到平衡时的浓度之比k分配系数,分配系数是由组分在两相的热力学性质决定的。在一定温度下,分配系数k小的组分在流动相中浓度大,二手1260液相设备,先流---谱柱。k=cs/cm lnk=-△gm/rtc

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