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与其他外延方法相比;它具有如下的优点:1)生长设备比较简单,;2)有较高的生长速率;3)掺杂剂选择范围广;4)晶体完整性好,外延层位错密度较衬底低;5)晶体纯度高,生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物,操作安全、简便等。lpe的不足在于,当外延层与衬底晶格常数差大于1%时,不能进行---的生长。其次,由于分凝系数的不同,四平二手1260,除生长很薄的外延层外,在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者lpe的外延层表面一般不如气相外延好。

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