




与其他外延方法相比;它具有如下的优点:1)生长设备比较简单,;2)有较高的生长速率;3)掺杂剂选择范围广;4)晶体完整性好,外延层位错密度较衬底低;5)晶体纯度高,生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物,操作安全、简便等。lpe的不足在于,当外延层与衬底晶格常数差大于1%时,松原二手1260液相设备,不能进行---的生长。其次,由于分凝系数的不同,除生长很薄的外延层外,在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者lpe的外延层表面一般不如气相外延好。

太阳能电池(solar cells,sc):在sc制造中,一个---的既矛盾又相互制约的问题是:要求外延层不能太厚,以免光生载流子在到达表面之前复合太多,但又不能太薄,以---足够的光吸收.目前商业生产的sc发射极厚达250—400μm,是用硅体单晶或多晶硅制成,因而材料的成本就占了很大的比重,为降低成本,在廉价的衬底如硅片、玻璃、陶瓷上液相外延一层10—50μm的高的硅薄。

1.常见色谱故障——压力波动可能原因:溶剂进口过滤芯堵塞;溶剂未脱气;泵的密封垫老化;出口单向阀失效;主动阀失效。常见原因:泵内有气泡2.常见色谱故障——压力过低可能原因:溶剂进口过滤芯堵塞;连接管路泄漏或其它备件(泵头密封垫);溶剂或流速改变;主动阀失灵;四元比例阀失灵;单向出口阀失灵;色谱柱失效(固定相流失)。

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